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當(dāng)前位置： 日立 雙束聚焦掃描電鏡（FIB-SEM） 聚焦離子束(FIB)微型采樣系統(tǒng)用于STEM分析
聚焦離子束(FIB)微型采樣系統(tǒng)用于STEM分析
聚焦離子束(FIB)微型采樣系統(tǒng)用于STEM分析
  • 聚焦離子束(FIB)微型采樣系統(tǒng)用于STEM分析
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聚焦離子束(FIB)微型采樣系統(tǒng)用于STEM分析

價格：面議
品牌：日立 產(chǎn)地：日本 型號：微型采樣系統(tǒng) 樣本：來電或留言獲取樣本
AI問答
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參數(shù)規(guī)格
產(chǎn)地類別：進口 供應(yīng)商性質(zhì)：生產(chǎn)商
詳細介紹

優(yōu)異的高效分析性能

微型采樣方法(已在日本和美國取得專利)已在半導(dǎo)體器件分析領(lǐng)域成為一款工具，它正迅速向更小制樣方向發(fā)展。僅用一小時左右即可獲得一個微小樣品，以便于STEM分析，其定位精度可達到0.1 μm以下。


特點

聚焦離子束(FIB)微采樣裝置和聚焦離子束(FIB)微采樣方法

聚焦離子束(FIB)微柱狀制樣實例

一個微柱狀樣品，包含一個直接從半導(dǎo)體器件上準確地切割下來的分析點。改變?nèi)肷渚劢闺x子束(FIB)的方向，把微樣品切割或加工成任意形狀。

系統(tǒng)配置實例

聚焦離子束-掃描透射電子顯微鏡系統(tǒng)

新開發(fā)的半導(dǎo)體裝置評估系統(tǒng)由FB2200聚焦離子束(FIB)系統(tǒng)和HD-2700 200 kV(STEM)掃描透射電子顯微鏡構(gòu)成。從對材料缺陷(組織)的搜索到亞納米薄膜高精度結(jié)構(gòu)分析，只要幾小時即可完成。

聚焦離子束-透射電子顯微鏡(掃描透射電子顯微鏡)(FIB-TEM(STEM))的樣品桿可互換共用


觀察實例

DRAM 觀察實例

針尖頂端的微柱狀樣品SEM像

微柱狀樣品的明場STEM像


聚焦離子束(FIB)微型采樣系統(tǒng)用于STEM分析由日立高新技術(shù)公司 為您提供，如您想了解更多關(guān)于聚焦離子束(FIB)微型采樣系統(tǒng)用于STEM分析報價、參數(shù)等信息 ，歡迎來電或留言咨詢。

注：該產(chǎn)品未在中華人民共和國食品藥品監(jiān)督管理部門申請醫(yī)療器械注冊和備案，不可用于臨床診斷或治療等相關(guān)用途。

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