熱導(dǎo)式氣體分析器概述
目前的熱導(dǎo)式氣體分析器在低量程方面還有許多不足,不能檢測(cè)微量成分,主要是因?yàn)閭鞲衅鞯臋z測(cè)靈敏度低,受背景氣體影響大。中西遠(yuǎn)大采用德國產(chǎn)集成化微加工工藝制造的微型傳感器(MEMS),傳感器的一致性和導(dǎo)熱性能高出幾個(gè)數(shù)量級(jí),使檢測(cè)精度和穩(wěn)定性大大提高。可以分析多種氣體成分,如H2、CO2、SO2、Ar、NH3、CL2、天然氣、甲烷、氦氣、疝氣等。
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