VDI 2083 Blatt-1-1 E:2020-06
清潔室技術(shù) 納米級(jí)顆粒的空氣潔凈度分類
Cleanroom technology – Particulate air cleanliness classes for nano-scaled particles (ACnP)
- 標(biāo)準(zhǔn)號(hào)
- VDI 2083 Blatt-1-1 E:2020-06
- 發(fā)布
- 2020年
- 總頁數(shù)
- 7頁
- 發(fā)布單位
- 德國機(jī)械工程師協(xié)會(huì)
- 引用標(biāo)準(zhǔn)
- DIN EN ISO 14644 VDI 1000
- 適用范圍
- 在微電子、食品工業(yè)、精密機(jī)械、光學(xué)、航空航天、制藥及醫(yī)療領(lǐng)域中對(duì)空氣潔凈度有特殊要求的技術(shù)和環(huán)境。