GB/T 40129-2021
表面化學分析 二次離子質(zhì)譜 飛行時間二次離子質(zhì)譜儀質(zhì)量標校準
Surface chemical analysis—Secondary ion mass spectrometry—Calibration of the mass scale for a time-of-flight secondary ion mass spectrometer
GBT40129-2021, GB40129-2021
- 標準號
- GB/T 40129-2021
- 別名
- GBT40129-2021, GB40129-2021
- 發(fā)布
- 2021年
- 總頁數(shù)
- 20頁
- 采用標準
- ISO 13084:2018 IDT
- 發(fā)布單位
- 國家質(zhì)檢總局
- 當前最新
- GB/T 40129-2021
- 本體
- 聚碳酸酯薄膜
- 適用范圍
- 本文件描述了一種用于優(yōu)化一般分析目的的飛行時間二次離子質(zhì)譜(SIMS)儀器的質(zhì)量校準準確度的方法。 本文件僅適用于飛行時間儀器,但并不限于任何特定的儀器設(shè)計。 本文件提供了對一些儀器參數(shù)優(yōu)化的指導,這些參數(shù)能使用此程序進行優(yōu)化,還提供了適用于校準質(zhì)量標以獲得最佳質(zhì)量準確度的一般峰的類型。
| 術(shù)語 | 描述 |
|---|---|
| 質(zhì)量準確度 Mass Accuracy | 測量得到的離子質(zhì)量與真實質(zhì)量之間的偏差程度。 |
| 二次離子質(zhì)譜(SIMS) Secondary Ion Mass Spectrometry | 一種通過從樣品表面釋放二次離子進行分析的深度剖析技術(shù)，常用于材料科學和表面分析領(lǐng)域。 |
GB/T 40129-2021 中提到的儀器設(shè)備
| 旋涂儀 | 用于制備均勻聚碳酸酯薄膜的設(shè)備，提供高質(zhì)量的樣品表面。 |
| 飛行時間二次離子質(zhì)譜儀 ToF-SIMS | 基于飛行時間原理設(shè)計的高分辨率質(zhì)譜儀，用于精確測量離子質(zhì)量和質(zhì)量準確度。 |
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專題
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