X射線光電子能譜儀 | 用于表面分析的儀器,配備有真空紫外光源 |
紫外光電子能譜儀包括以下幾個主要部分:單色紫外光源(hν = 21.2 1eV)、電子能量分析器、真空系統(tǒng)、濺射離子槍源或電子源、樣品室、信息放大、記錄和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)。 1、紫外光源 紫外光電子能譜的激發(fā)源常用稀有氣體的共振線如He I、He II。它的單色性好,分辨率高??捎糜诜治鰳悠吠鈿?..
1、紫外光電子能譜的筒鏡式電子能量分析器 筒鏡式電子能量分析器,它是同軸圓筒,外筒接負電壓、內(nèi)筒接地,兩筒之間形成靜電場,以使不同能量的電子依次通過分析器,它的靈敏度很高,但是分辨率低。所以現(xiàn)在經(jīng)常使用的是半球型電子能量分析器?! ?、紫外光電子能譜的檢測器 由于被激發(fā)的電子產(chǎn)生的光電流十分...
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