T/CNIA 0016-2019
多晶硅用回收氫氣中氯化氫、氮氣、氧氣、總碳含量的測定 氣相色譜法

Determination of Hydrogen Chloride, Nitrogen, Oxygen and Total Carbon Content in Recycled Hydrogen for Polysilicon by Gas Chromatography

標準號

T/CNIA 0016-2019

發(fā)布

2019年

發(fā)布單位

中國團體標準

當前最新

T/CNIA 0016-2019

 

 

適用范圍

本標準規(guī)定了多晶硅用回收氫氣中氯化氫、氮氣、氧氣、總碳含量的氣相色譜測定方法。 本標準適用于多晶硅用回收氫氣的氯化氫、氮氣、氧氣、總碳含量的測定，測定范圍為（0-10000）×10-6。

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專題

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