GSO ISO 18114:2013
表面化學(xué)分析 二次離子質(zhì)譜 離子標準物質(zhì)相對靈敏度因子的測定

Surface chemical analysis -- Secondary-ion mass spectrometry -- Determination of relative sensitivity factors from ion-implanted reference materials

標準號

GSO ISO 18114:2013

發(fā)布

2013年

發(fā)布單位

GSO

當(dāng)前最新

GSO ISO 18114:2013

 

 

適用范圍

本國際標準規(guī)定了從離子注入?yún)⒖疾牧现写_定二次離子質(zhì)譜（SIMS）相對靈敏度因子（RSF）的方法。該方法適用于基體化學(xué)成分均勻、注入物質(zhì)峰值濃度不超過1個原子百分比的樣品。

專題

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