電子級氫氟酸雜質含量檢測方案01引言高純氫氟酸為強酸性清洗、腐蝕劑,可與硝酸、冰醋酸、雙氧水及氫氧化銨等配置使用,主要應用于集成電路(IC)和超大規(guī)模集成電路(VLSI)芯片的清洗和腐蝕,是微電子行業(yè)制作過程中的關鍵性基礎化工材料之一,還可用作分析試劑和制備高純度的含氟化學品。目前,在國內基本上是...
在半導體制造中,使用的所有組件必須為超高純度,以確保最終產品的最佳性能。RCA清潔液(SC),通常被稱為SC-2(清潔液2)或HPM(過氧化氫混合物),是鹽酸(HCl)和過氧化氫(H2O2)的混合物。該溶液廣泛用于清除硅晶片表面的離子和金屬污染物。這種清潔溶液與半導體器件直接接觸,所以它必須是最純的...
隨著新能源汽車,自動駕駛,5G,虛擬現實等高新技術的飛速發(fā)展,對于高效率高性能的半導體器件的需求正在進入史無前例的時代。這些新的應用需求正在不斷推動半導體器件制造商大量投入進行新材料以及新器件的研發(fā),并且對更加復雜的器件進行良率提升以及質量管控。半導體未來:TEM技術不可或缺以SiC和GaN為代表的...
漿膜腔積液的檢驗分為三級:①一級檢驗:一般檢驗項目,包括比密、總蛋白、Rivalta試驗、細胞計數、細胞分類計數及細菌學檢驗;②二級檢驗:主要為化學檢驗,包括C反應蛋白、乳酸脫氫酶、腺苷脫氨酶、溶菌酶、淀粉酶、葡萄糖等;③三級檢驗:主要為免疫學檢驗,包括癌胚抗原、甲胎蛋白、腫瘤特異性抗原、鐵蛋白等...
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