智能化可提升傳感器的精度,降 低 功耗和體積,實現(xiàn)較易組網(wǎng),從而擴大傳感器的應用范圍,使其發(fā)展更加迅速有效?! ≈悄軅鞲衅髦饕?em>硅材料微細加工和CMOS電路集成技術制作。按制造技術,智能傳感器可分為微機電系統(tǒng)(MEMS)、互補金屬氧化物半導體(CMOS)、光譜學三大類。...
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