硅的碳氧含量

本專題涉及硅的碳氧含量的標(biāo)準(zhǔn)有2條。

國際標(biāo)準(zhǔn)分類中，硅的碳氧含量涉及到集成電路、微電子學(xué)。

在中國標(biāo)準(zhǔn)分類中，硅的碳氧含量涉及到微電路綜合。

行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)-電子，關(guān)于硅的碳氧含量的標(biāo)準(zhǔn)

• SJ 20636-1997 IC用大直徑薄硅片的氧、碳含量微區(qū)試驗(yàn)方法

RO-ASRO，關(guān)于硅的碳氧含量的標(biāo)準(zhǔn)

• SR 5063/6-1993 碳化硅．二氧化硅含量測定

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可能用到的儀器設(shè)備