ISO 14237:2000
表面化學分析 二次離子質(zhì)譜 用均勻摻雜物質(zhì)測定硅中硼的原子濃度

Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Determination of boron atomic concentration in silicon using uniformly doped materials

作廢

標準號

ISO 14237:2000

發(fā)布

2000年

總頁數(shù)

28頁

中文版

GB/T 20176-2006 (等同采用的中文版本)

發(fā)布單位

國際標準化組織

替代標準

ISO 14237:2010

當前最新

ISO 14237:2010

 

 

適用范圍

本國際標準規(guī)定了采用均勻摻雜材料測定單晶硅中硼原子濃度的二次離子質(zhì)譜方法，該方法由經(jīng)認證的硼注入?yún)⒖疾牧闲省?該方法適用于濃度范圍為1 × 10 原子/cm 至1 × 10 原子/cm 的均勻摻雜硼。

專題

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