NF X21-070*NF ISO 14237:2010
表面化學(xué)分析.二次離子質(zhì)譜.用均勻摻雜物質(zhì)測(cè)定硅中硼的原子濃度.

Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Determination of boron atomic concentration in silicon using uniformly doped materials.

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)

NF X21-070*NF ISO 14237:2010

發(fā)布

2010年

發(fā)布單位

法國(guó)標(biāo)準(zhǔn)化協(xié)會(huì)

當(dāng)前最新

NF X21-070*NF ISO 14237:2010

 

 

代替標(biāo)準(zhǔn)

GOST 29104.5-1991

專題

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