GB/T 4937.27-2023
半導(dǎo)體器件 機(jī)械和氣候試驗(yàn)方法 第27部分：靜電放電（ESD）敏感度測(cè)試 機(jī)器模型（MM）
Mechanical and Climatic Test Methods for Semiconductor Devices Part 27: Electrostatic Discharge (ESD) Susceptibility Test Machine Model (MM)
GBT4937.27-2023, GB4937.27-2023
- 標(biāo)準(zhǔn)號(hào)
- GB/T 4937.27-2023
- 別名
- GBT4937.27-2023, GB4937.27-2023
- 發(fā)布
- 2023年
- 總頁(yè)數(shù)
- 13頁(yè)
- 發(fā)布單位
- 國(guó)家質(zhì)檢總局
- 當(dāng)前最新
- GB/T 4937.27-2023
- 本體
- 半導(dǎo)體器件
- 該標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了半導(dǎo)體器件的機(jī)器模型（MM）的靜電放電（ESD）敏感度測(cè)試方法。靜電放電是一種在半導(dǎo)體器件制造、操作和運(yùn)輸過(guò)程中常見(jiàn)的電磁現(xiàn)象，可能導(dǎo)致器件損壞或性能降低。該標(biāo)準(zhǔn)旨在評(píng)估半導(dǎo)體器件對(duì)機(jī)器模型產(chǎn)生的靜電放電的敏感程度，以便制定相應(yīng)的防護(hù)措施和改進(jìn)措施。通過(guò)進(jìn)行機(jī)器模型的靜電放電測(cè)試，可以判斷半導(dǎo)體器件在實(shí)際使用環(huán)境中是否能夠抵御靜電放電引起的損害，并為產(chǎn)品設(shè)計(jì)和生產(chǎn)提供指導(dǎo)。該標(biāo)準(zhǔn)適用于各類半導(dǎo)體器件及其制造和應(yīng)用領(lǐng)域，對(duì)于確保產(chǎn)品質(zhì)量和可靠性具有重要意義。
GB/T 4937.27-2023 中提到的儀器設(shè)備
| MM ESD波形發(fā)生器 | 模擬MM ESD對(duì)被測(cè)器件施加靜電放電電流脈沖，其等效電路和測(cè)試設(shè)備評(píng)價(jià)負(fù)載見(jiàn)圖1 |
| 波形記錄系統(tǒng) | 用于確認(rèn)MM電流波形的設(shè)備，單次觸發(fā)帶寬至少為350 MHz |
| 電流傳感器 | 最小帶寬為350 MHz，用于測(cè)量放電電流 |
| 高壓電阻器 500 Q，容差±1% | 用于評(píng)價(jià)負(fù)載的低感電阻器，其ESD耐壓要與用于波形驗(yàn)證的電壓相匹配 |
其他標(biāo)準(zhǔn)
專題
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