NF ISO 14237:2010
表面化學分析 二次離子質(zhì)譜分析 使用均勻摻雜材料的硅中硼原子的劑量

Chemical analysis of surfaces - Mass spectrometry of secondary ions - Determination of boron atoms in silicon using uniformly doped materials

標準號

NF ISO 14237:2010

發(fā)布

2010年

發(fā)布單位

法國標準化協(xié)會

當前最新

NF ISO 14237:2010

 

 

介紹

該標準詳細規(guī)定了使用二次離子質(zhì)譜（SIMS）技術(shù)測量硅基材料中硼原子劑量的方法。適用于均勻摻雜的硅樣品，通過精確分析表面化學成分來評估半導(dǎo)體器件中的硼濃度分布情況。

***此介紹可能不準確，請注意參考原文。

NF ISO 14237:2010相似標準