KS D ISO 14237:2003
表面化學(xué)分析.次級(jí)離子質(zhì)譜法.使用非均一摻雜材料的硅中硼原子的濃度測(cè)定

Surface chemical analysis－Secondary-ion mass spectrometry－Determination of boron atomic concentration in silicon using uniformly doped materials

被代替

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)

KS D ISO 14237:2003

發(fā)布

2003年

發(fā)布單位

韓國(guó)科技標(biāo)準(zhǔn)局

替代標(biāo)準(zhǔn)

KS D ISO 14237-2003(2018)

當(dāng)前最新

KS D ISO 14237-2023

 

 

被代替標(biāo)準(zhǔn)

KS D ISO 14237:2002

適用范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定硼是通過(guò)經(jīng)認(rèn)證的標(biāo)準(zhǔn)材料均勻添加和校準(zhǔn)的，其中硼離子注入。

KS D ISO 14237:2003相似標(biāo)準(zhǔn)