ASTM D5127-07
電子學(xué)和半導(dǎo)體工業(yè)用超純水標(biāo)準(zhǔn)指南
Standard Guide for Ultra-Pure Water Used in the Electronics and Semiconductor Industries
- 標(biāo)準(zhǔn)號
- ASTM D5127-07
- 發(fā)布
- 2007年
- 總頁數(shù)
- 5頁
- 發(fā)布單位
- 美國材料與試驗(yàn)協(xié)會
- 替代標(biāo)準(zhǔn)
- ASTM D5127-12
- 當(dāng)前最新
- ASTM D5127-13(2018)
- 引用標(biāo)準(zhǔn)
- ASTM D1129 ASTM D1193 ASTM D1976 ASTM D2791 ASTM D3919 ASTM D4191 ASTM D4192 ASTM D4327 ASTM D4453 ASTM D4517 ASTM D5173 ASTM D5196 ASTM D5391 ASTM D5462 ASTM D5542 ASTM D5544 ASTM D5673 ASTM D5996 ASTM D5997 ASTM F1094
- 適用范圍
- 1.1 本指南提供了與電子和半導(dǎo)體行業(yè)制造相關(guān)的水質(zhì)建議。描述了六種水分類，包括線寬低至 0.09 微米的水。在所有情況下，建議都是針對配送點(diǎn) (POD) 的水。
1.2 水用于在制造過程中清洗和漂洗半導(dǎo)體元件。水還用于清潔和蝕刻操作、制造蒸汽以氧化硅表面、制備光掩模以及沉積發(fā)光材料。其他應(yīng)用包括固態(tài)器件、薄膜器件、通信激光器、發(fā)光二極管、光電探測器、印刷電路、存儲器件、真空管器件或電解器件的開發(fā)和制造。
1.3 需要水的用戶與此處描述的質(zhì)量不同的水質(zhì)應(yīng)參考其他水標(biāo)準(zhǔn)，例如規(guī)范 D 1193 和指南 D 5196.1.4 本標(biāo)準(zhǔn)并不旨在解決與其使用相關(guān)的所有安全問題（如果有）。本標(biāo)準(zhǔn)的使用者有責(zé)任在使用前建立適當(dāng)?shù)陌踩徒】祵?shí)踐并確定監(jiān)管限制的適用性。
ASTM D5127-07 中可能用到的儀器設(shè)備
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